Микро- и наносистемная техника

Процесс подготовки специалистов связан с изучением технологий изготовления, методов расчета, конструирования и диагностики микроэлектромеханических и наноэлектромеханических систем, нанообъектов и наноструктурных материалов, метрологического обеспечения измерений на наноуровне, определения свойств материалов и компонентов в наномасштабе, особенностям работы микро- и наносистем в современных машинах и аппаратах.